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6月26日消息,日本经济产业省和荷兰经济事务和气候政策部在东京签署了一份光刻机技术半导体合作备忘录。双方将共同推进日本晶圆代工商Rapidus和荷兰光刻机巨头ASML的合作,以期量产2nm工艺。 据报道,ASML是生产尖端半导体工艺所需EUV光刻机的厂商。Rapidus计划使用经济产业省提供的补贴购买EUV光刻设备。值得注意的是,EUV光刻机在全球范围内非常短缺,面临着台积电、英特尔、三星等巨头的竞争。因此,如果Rapidus和ASML展开合作,有望加强供应链。 出席签约仪式的日本经济产业大臣
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